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ZHN/SEM - Nano indenteur pour microscope électronique à balayage

Le ZHN/SEM est un nano indenteur complet qui a été spécialement développé pour l'utilisation en relation étroite avec la chambre à vide d'un microscope électronique à balayage (angl. SEM). La tête de mesure à la conception technique novatrice offre une résolution nettement augmentée. La plage de force peut de plus être adaptée dans de larges limites aux besoins du client. La fixation n'intervient pas sur la paroi de la chambre à vide, mais directement sur le banc d'essais d'un microscope électronique à balayage ou appareil similaire. L'utilisateur peut ainsi disposer des possibilités de mouvement habituelles (inclinaison, déplacement). Une fixation sur une bride appropriée de la paroi de chambre est en outre possible sur une variante légèrement modifiée. Une bride, libre, suffisamment large sera également requise pour la mise en œuvre des fils électriques.

Les pièces additionnelles sont: une table piézoélectrique pour le déplacement de l'éprouvette par rapport à la pointe du pénétrateur en direction XY ainsi qu'une table, mécanique, rigide pour le déplacement de la tête de mesure en direction Z vers la surface de l'échantillon. Ce système de table est toujours nécessaire, lorsque la tête de mesure est fixée à la mâchoire de la SEM.

Des capteurs de course inductifs (LVDTs) sont utilisés comme capteurs pour la mesure de la force et de la course. La création de la force est générée par un élément piézoélectrique, la mesure de la force directement par la mesure de la déviation des ressorts.

Une fonction de pause permet l'arrêt momentané d'une expérience pour l'acquisition d'images et la poursuite ultérieure de la séquence de mesure préprogrammée. La force ou la course continuent d'être régulées pendant la pause.

La tête de mesure peut être comprimée ou étirée à l'intérieur de la même plage de force. Ce qui permet d'utiliser le ZHN/SEM pour les deux nanoindentations: nanoindentation classique (dureté et mesures du module) et tests de micro-compression ou de micro-traction. Les procédés de déformation peuvent ainsi être observés directement à haute résolution, lors d'une expérience.


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