體積小但功能強大
用於安裝在掃描電子顯微鏡 (SEM) 中的 ZHN/SEM 奈米壓痕儀可以在以最大解析度觀察試片的同時進行微機械實驗。它擁有目前可用的最大測量範圍,最大位移量測為 200 µm,最大力為 200 mN,並在低振動環境中結合極低噪聲的力和位移感測器。儀器的剛度非常高,可以毫無困難地進行傳統的硬度測量。
標準系統是為安裝在各種 SEM 的平台系統上而開發的,但也可以安裝在腔壁上。SEM 載物台的現有傾斜和定位選項可用於該系統。
該系統包括:
- 帶有感測器和制動器的測量頭
- 壓電平台系統,用於在 XY 方向上定位試片並可選擇繞壓頭軸旋轉
- 用於將測量頭移向試片的剛性機械 Z 台
- PC 和控制器
- 易於使用、高度靈活的軟體
- 一個或兩個帶引線的凸緣(特定於 SEM)
技術概覽
Description敘述 | Value價值 | |
訂貨號 | 1020054 | |
型號 | ZHN/SEM | |
最大測試力(Fmax) | 約200 | mN1 |
最大位移 | 大約 20 mN 時 200 µm; 200 mN 時 1500 µm | |
數位力解析度 | ≤0.02 | μN |
數位位移解析度 | ≤0.001 | nm |
噪音等級,力量測量 (RMS) | ≤0.5 | μN |
噪音等級、位移量測 (RMS) | ≤0.5 | nm |
平台系统 | ||
X 和 Y 平台:移動範圍(標準) | 21 x12 | mm |
X 和 Y 平台:定位準確度 | ≤50 | nm |
X 和 Y 平台:測量系統解析度 | 1 | nm |
Z-stage:移動範圍 | 15(可以選擇25) | mm |
Z-stage:定位準確度 | ≤0.1 | μm |
Z-stage:測量系統解析度 | 50 | nm |
- 壓縮和拉伸